Сериальное издание: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
Страницы: 21-25
Аннотация
Исследованы структура, морфология и свойства оксинитридных покрытий титана, осажденных методом импульсного реактивного магнетронного распыления. Использовались методы рентгеновской дитфрактометрии, рамановской спектроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и растровой электронной микроскопии. Установлено, что структура, элементный и фазовый состав покрытий зависят от величины соотношения кислород/азот в составе реактивного газа, а также от величины отрицательного смещения на подложке. Увеличение доли азота приводит к уменьшению скорости распыления, уменьшению контактного угла смачивания, увеличению твердости и уменьшению модуля Юнга при использовании отрицательного смещения.
